Grundansatz
Erstmals werden mit der intensiven Erforschung der plasmaphysikalischen Einwirkungen im Beschichtungsprozess die Voraussetzungen für eine neue Klasse von Optimierungsinstrumenten geschaffen, die in den bisherigen Verfahren nicht zugänglich waren. Auf diesen Mehrwert der intensiven Kooperation der Beschichter mit den Plasmaforschern und Modellierern baut die Arbeitstrategie des Pilotvorhabens auf.
Zunächst sollen industrienahe Beispielkonzepte für plasmaunterstützte Prozesse bei drei Partnern so eingerichtet werden, dass eine klare Aufbereitung der plasmaphysikalischen Vorgänge im Bereich des Beschichtungsguts (in der optischen Dünnschichttechnologie häufig als Substrat bezeichnet) exemplarisch möglich wird. Hierzu sollen die geometrischen Verhältnisse im Plasmabereich und am Substratträger an die einzusetzenden Plasmasonden und Analysegeräte angepasst werden, sowie die Voraussetzungen für eine präzise Kontrolle der Umgebungsbedingungen im Kondensationsbereich der Schichten geschaffen werden.
Entsprechend der vorgesehenen Forschungsstrategie konzentrieren sich die Arbeiten des Forscherverbunds auf alle wesentlichen Aspekte zur Gewinnung der notwendigen Grundlagen für eine Beherrschung von plasmagestützten Prozessen. Im Vordergrund sollen dabei die Basisvarianten des plasmaunterstützten Prozesses und des Zerstäubens stehen. In der nebenstehenden Grafik sind die Themenfelder der verbundübergreifenden Arbeitspakete zusammengestellt, die sich in die jeweiligen Teilprojekte der einzelnen Verbundpartner eingliedern.