Projektpartner
Das Projekt untergliedert sich in die folgenden Teilvorhaben:
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„Untersuchung, Optimierung und Monitorierung plasmagestützter Verdampfungsprozesse“, Fraunhofer IOF
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„Plasmaunterstützte Zerstäubungsprozesse“, Laserzentrum Hannover e.V.
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„Simulation“, Bremer Zentrum für computergestützte Materialwissenschaften
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„Energie- und Teilcheneinstrom – Basisparameter der plasmagestützten Deposition optischer Schichten“, Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie Greifswald e.V. (INP)
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„Modellierung Plasmagestützter Abscheideprozesse“, Ruhr-Universität Bochum (TET)
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„Prozesstaugliche Plasmadiagnostik auf Basis der Multipol-Resonanz-Sonde – Sondenkopf, Auswertesystem, Demonstrator“, Ruhr-Universität Bochum (TET, AEPT, ES)
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„Prozesstaugliche Plasmadiagnostik auf Basis der Multipol-Resonanz-Sonde – Charakterisierung von Material und System“, Leibniz Universität Hannover (Institut für Hochfrequenztechnik und Funksysteme)
Neben den oben aufgeführten 6 Forschungseinrichtungen werden außerdem die 8 Partner des Industriebeirates in die Arbeiten einbezogen. Somit sind folgende Partner am Projekt beteiligt:
| Carl Zeiss SMT AG http://www.smt.zeiss.com/de |
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| Fraunhofer IOF http://www.iof.fraunhofer.de |
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| Jenoptik LOS http://www.jenoptik-los.com |
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| Landshut Silicon Foundry GmbH http://www.lfoundry.com |
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| Laseroptik GmbH http://www.laseroptik.de |
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| Laserzentrum Hannover http://www.laser-zentrum-hannover.de |
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| Layertec GmbH http://www.layertec.de |
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| Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie
Greifswald e.V. http://www.inp-greifswald.de |
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| Leibniz Universität Hannover, Institut für Hochfrequenztechnik und Funksysteme http://www.hft.uni-hannover.de |
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| Leybold Optics GmbH http://www.leyboldoptics.com/de/index.html |
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| Mlase AG http://www.mlase.com |
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| Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl AEPT http://www.aept.ruhr-uni-bochum.de |
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| Ruhr-Universität Bochum, Lehrstuhl EST http://www.lems.rub.de |
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| Ruhr-Universität Bochum Lehrstuhl TET http://www.tet.rub.de |
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| Uni Bremen, BCCMS http://www.bccms.uni-bremen.de |
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