Projektziele
In Deutschland als Hochtechnologie-Standort ist die Plasmatechnik aus der modernen Forschung, Entwicklung und Produktion nicht mehr wegzudenken. In seiner Vielseitigkeit ermöglicht das Plasma eine umfangreiche Palette von angepassten Werkzeugen, die vielfältige Anwendungen in der Optik, der Luft- und Raumfahrt, im Automobilbereich oder in der Elektronik und Medizintechnik finden.
Insbesondere in den Optischen Technologien stellen Anwendungen von
Plasmen eine Schlüsselposition dar, die sowohl in der Entwicklung
neuer Strahlquellen als auch bei der Implementierung ökonomischer
Fertigungsverfahren eine enorme Hebelwirkung entfaltet.
Eine außerordentlich starke Innovationskraft geht von der großen
Flexibilität des Plasmas bei der Funktionalisierung optischer
Oberflächen aus. Plasmen sind heute unverzichtbares Arbeitsmittel
und Stoffwandler zur Herstellung hochwertiger dünner Schichten und
der Schlüssel für innovative Oberflächen und neue Produkte. Dabei
erstreckt sich das Spektrum der Einsatzbereiche von der Beschichtung
und Strukturierung von Glas bis hin zur Strukturierung und
Abscheidung multifunktioneller Schichtsysteme auf Kunststoffen
(siehe Abbildung). Unübertroffen ist die Nutzungsvielfalt des
Plasmas bei der Herstellung optischer Schichten, die von einer
Unterstützung des Schichtwachstums in plasmagestützten
Bedampfungsprozessen, über eine direkte Wechselwirkung in
Plasma-CVD-Prozessen bis hin zu Sputterprozessen reicht, bei denen
die Freisetzung des Beschichtungsmaterials durch
Plasmabeaufschlagung eines Targets ausgeführt wird.
Für weitere Fortschritte dieser Verfahren ist ein grundlegendes Verständnis der Wirkung des Plasmas auf den Schichtbildungsprozess dringend notwendig. Der Verbund PluTO ist auf diese Aufgabenstellungen ausgerichtet und führt erstmals Kompetenzen aus der Plasmaphysik und der Dünnschichtoptik konstruktiv zusammen. Das Pilotvorhaben entfaltet so eine neue Dimension in der Beherrschbarkeit der Adatome und Schichtbildungsmechanismen in Beschichtungsprozessen.